Ten/Ta/Toexponované lineární měřítkoje určen pro obráběcí stroje a systémy, které vyžadují vysoce přesné měření, a eliminuje chyby a chyby zpětného chodu způsobené teplotními charakteristikami a charakteristikami pohybu kuličkového šroubu.
Použitelná odvětví:
Měřicí a výrobní zařízení pro polovodičový průmysl
Stroj na montáž desek plošných spojů
Přesný obráběcí stroj
Vysoce přesný obráběcí stroj
Měřicí stroje a komparátory, měřicí mikroskopy a dalšípřesné měřicí zařízení
Aplikace a zavedení sériových produktů:
Čtecí hlava s lineární mřížkou řady LS40 je přizpůsobena ultratenké nerezové stupnici řady M4 s roztečí mřížky 40 μm. Použití skenování v jednom poli a zpracování dělení s nízkou latencí jí zajišťuje vynikající dynamický výkon.
Lineární mřížková stupnice řady RU je inkrementální mřížková stupnice s velikostí mřížky 20 μm, která je navržena pro poskytování zpětné vazby pro vysoce přesné lineární měření. Využívá pokročilou technologii značení interferenční mřížky a chyba mřížky je omezena na méně než 40 nm. Používá vysoce pevné a korozivzdorné speciální materiály. Nerezová ocel zajišťuje dlouhodobé a stabilní používání.
Inkrementální čtecí hlavy řady RX jsou vybaveny pokročilým optickým senzorem nulové polohy od společnosti RH Optics. Využívá nejpokročilejší technologii skenování nulového bodu v jednom poli, pokročilý automatický zisk a technologii automatické korekce odchylek od společnosti Handing Optical. Má nízkou elektronickou chybu dělení, silný výkon proti znečištění a je kompatibilní s lineárními a kruhovými mřížkovými stupnicemi.
Mechanická struktura:
Odkrytá lineární stupniceZahrnuje ocelovou páskovou stupnici a čtecí hlavu, které jsou bezkontaktní. Ocelová pásková mřížková stupnice otevřené lineární mřížkové stupnice je přímo upevněna na montážní ploše, takže rovinnost montážní plochy ovlivní přesnost lineární mřížkové stupnice.
Čas zveřejnění: 16. února 2023
